
產品分類
目的:
在產品的生產、放置過程中,為防止LD.半導體受靜電破壞,特進行一些有關防護對策確認
2. 適用范圍:
適用于TDL制造部LD.半導體的靜電防護
3. 主管部門:
制造部
4. 人體接地:
4.1作業者靜電手腕佩帶點檢 (是否斷線.接地),記錄在《防靜電手環檢測管理表》.
4.2作業者(相關人員)進入靜電防護區域須著用防靜電帽.防靜電衣.防靜電鞋
4.2.1防靜電鞋鞋底須保持干凈
4.2.2觸摸一下人體靜電除去把手
4.2.3測量防靜電鞋是否導通(FOOT CHECKER),記錄在《防靜電鞋檢測管理表》.
4.3作業者椅子使用防靜電保護墊
4.4人體接地抗阻為:10Ω以下,記錄在《人體設備靜電確認表》上.
※ 注意4.2∽4.4只適用TN-MD,完成品及PWB基板
5. 設備、治工具接地:
5.1所有與LD.半導體生產有關的設備、治工具必須接地,并進行點檢。烙鐵點檢(1次/天)填寫在《焊錫烙鐵抵抗確認表》中;離子風扇、靜電氣槍除電檢測(1次/月)填寫在《離子風扇/靜電氣槍除電確認表》中;接地抵抗測試(1次/年)填寫《設備接地與人體接地對地阻抗點檢測試結果報告書》;接地線分支線導通檢測(1次/月)填寫在《人體、設備接地基線與分支線導通測試表》中;設備漏電檢測(1次/月)填寫《漏電電壓測定結果一覽表》.SURGE電壓檢測(1次/半年)填寫在《SURGE電壓測定結果一覽表》,LINE使用的金屬治工具及儀器設備的電量用庫侖測試器測定(1次/半年),填寫在《庫侖測定結果一覽表》上
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5.2點檢日期為規定月的第5日進行,若逢假期順延
5.3作業臺表面須鋪有導電墊并接地(其表面固有阻抗為:10 - 10 Ω/squre)
6. 備品靜電防護:
6.1使用半導電性塑料制成的部品箱
6.2使用防靜電捆包袋
6.3標示使用的CARD CASE必須是防靜電素材制成
7. 靜電的檢測
7.1用表面電位計 FMX-002/SIMCO 檢測設備的靜電電壓400V以下
7.2用表面電位計 FMX-002/SIMCO 檢測人體的靜電電壓200V以下
7.3用表面電位計 FMX-002/SIMCO 檢測作業環境的靜電電壓400V以下